特許

J-GLOBAL ID：200903095658751111

保護膜及び該保護膜を用いた磁気記録媒体

発明者： 笹岡 泰 ,  神津 順一 ,  市川 雅敏
出願人/特許権者： 三菱化学株式会社
代理人 (1件)： 長谷川 曉司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-032653
公開番号（公開出願番号）：特開平10-289442
出願日： 1998年02月16日
公開日（公表日）： 1998年10月27日
要約：

【要約】【課題】 薄膜化しても高耐久性及び耐腐食性を実現できる保護膜及びこの保護膜を用いた磁気記録媒体を提供すること。【解決手段】 保護膜を形成するグレインの粒径を2nm以下とする。

請求項（抜粋）：

スパッタリング又はCVDにより形成された厚さ15nm以下の保護膜であって、該保護膜を形成するグレインの粒径が2nm以下であることを特徴とする保護膜。

IPC (4件)：

G11B 5/72 ,  C23C 14/06 ,  C23C 16/26 ,  G11B 5/66

FI (4件)：

G11B 5/72 ,  C23C 14/06 F ,  C23C 16/26 ,  G11B 5/66