特許
J-GLOBAL ID：200903095663891592
タンタルアルコキシドの精製方法、及び高純度タンタルアルコキシド並びにこれを用いた気相成長法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
並川 啓志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-334468
公開番号（公開出願番号）：特開平6-220069
出願日： 1991年11月25日
公開日（公表日）： 1994年08月09日
要約：
【要約】【構成】 塩素元素を含有するタンタルアルコキシドを金属水素化物または金属水素錯化合物で処理することからなるタンタルアルコキシドの精製方法、及び塩素元素を10ppm以下にした高純度のタンタルアルコキシド、さらに高純度タンタルアルコキシドを用いて基板表面上に酸化タンタル膜を形成する気相成長法。【効果】 タンタルアルコキシド中の微量の塩素元素をさらに低減させることができ、またこのようにして得られる塩素元素を10ppm以下とした高純度タンタルアルコキシドを用いることによりパーティクルの発生が少なくて、平滑性に優れ、後工程での微細加工に支障のないタンタル酸化膜を形成でき、集積回路装置等を製造するために極めて有用である。
請求項（抜粋）：
塩素元素を含有するタンタルアルコキシドを金属水素化物又は金属水素錯化合物で処理することを特徴とするタンタルアルコキシドの精製方法。
IPC (3件)：
C07F 9/00
, C23C 16/40
, H01L 21/283
