電子線エネルギー分光器付き電子顕微鏡による元素濃度測定方法及びこれを備えた装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：作田康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-333838
公開番号（公開出願番号）：特開2001-153820
出願日： 1999年11月25日
公開日（公表日）： 2001年06月08日
要約：

【要約】【課題】電子線エネルギー分光器(Energy-Filter)-透過型電子顕微鏡(Transmission Electron Microscopy)において高い空間分解能を維持しながら複数の元素を含む試料中の任意の元素濃度を測定する。【解決手段】電子線2の照射によって試料4を透過した電子線の電子線エネルギー損失量とその強度を検出して、得られた複数の電子線エネルギー損失スペクトルから各元素ごとのピークに分離し、任意の元素の元素濃度を求める。

請求項（抜粋）：

電子線照射によって試料を透過した電子線から得られる複数の電子線エネルギー損失スペクトルから、演算により単独の元素によるピークに分離することにより、複数の元素を含む試料から任意の元素濃度分布を求めることを特徴とする元素濃度測定法及びこれを備えた装置。

IPC (3件)：

G01N 23/06 , H01J 37/26 , H01J 49/44

FI (3件)：

G01N 23/06 , H01J 37/26 , H01J 49/44

Fターム (22件)：

2G001AA03 , 2G001BA11 , 2G001BA13 , 2G001DA02 , 2G001DA09 , 2G001EA04 , 2G001FA17 , 2G001GA01 , 2G001GA06 , 2G001GA10 , 2G001HA01 , 2G001JA02 , 2G001KA01 , 2G001MA05 , 2G001NA15 , 2G001NA16 , 5C033SS03 , 5C033SS08 , 5C033SS10 , 5C038KK01 , 5C038KK18 , 5C038KK20

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