紫外対物レンズ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：韮澤弘 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-233121
公開番号（公開出願番号）：特開平5-072482
出願日： 1991年09月12日
公開日（公表日）： 1993年03月26日
要約：

【要約】【目的】 250nm付近の波長域で使用可能な高倍、高開口数で、像面の平坦性、透過率も良く、作動距離も比較的長い乾燥系高解像紫外対物レンズ。【構成】物体側に凹面を向けたメニスカスレンズと凹凸接合メニスカスレンズよりなり、全体として正パワーの第1レンズ群L1、3枚接合レンズを少なくとも2個含み、全体として正パワーの第2レンズ群L2、凹凸接合レンズを含み、負パワーの第3レンズ群L3よりなり、(1)2.5<|f<SB>1 </SB>/f|<5、(2)5<|f<SB>2 </SB>/f|<10、(3)2.5<|f<SB>3 </SB>/f|<7.5、の条件を満足する対物レンズである。ここで、f<SB>1 </SB>、f<SB>2 </SB>、f<SB>3 </SB>、fはそれぞれ第1レンズ群L1、第2レンズ群L2、第3レンズ群L3及び全系の焦点距離である。

請求項（抜粋）：

物体側から順に、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズと凹凸接合メニスカスレンズよりなり、全体として正パワーの第1レンズ群L1、3枚接合レンズを少なくとも2個含み、全体として正パワーの第2レンズ群L2、凹凸接合レンズを含み、負パワーの第3レンズ群L3よりなり、以下の条件を満足することを特徴とする紫外対物レンズ:(1) 2.5<|f<SB>1 </SB>/f|<5(2) 5<|f<SB>2 </SB>/f|<10(3) 2.5<|f<SB>3 </SB>/f|<7.5ただし、f<SB>1 </SB>、f<SB>2 </SB>、f<SB>3 </SB>、fはそれぞれ第1レンズ群L1、第2レンズ群L2、第3レンズ群L3及び全系の焦点距離である。

IPC (2件)：

G02B 21/02 , G02B 13/14

引用特許：

審査官引用 (11件)

特開昭54-011755
特開昭54-079053
特開昭58-090611

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