ウェーハ、識別情報読み取り方法、集積回路製造装置及び集積回路製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小池晃 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-210327
公開番号（公開出願番号）：特開平7-066091
出願日： 1993年08月25日
公開日（公表日）： 1995年03月10日
要約：

【要約】【構成】集中制御装置11からの制御により、識別情報読み取り部14で読み取られたウェーハ16上の識別情報に基づいて工程管理リスト12内の工程を次工程に更新する。また、この次工程のための集中制御装置11からの実行命令により、プロセス条件補正部19ではプロセスデータベース21から過去の検査結果が検索され、この検索結果が仕様を満足するならば、次工程のためのプロセス部15内のプロセス装置Mでウェーハ16に処理を施した後、検査部18内の検査装置Tで検査を行う。この検査結果はプロセス条件補正部19からプロセスデータベース21に登録される。【効果】ウェーハ1枚ずつに対して最適な工程条件の設定を行うことが可能になり、多品種少量生産に対応することができる。

請求項（抜粋）：

集積回路製造のための工程管理用の識別情報が書き込まれていることを特徴とするウェーハ。

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平4-318911
特開昭62-143415
特開平4-318911

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