特許
J-GLOBAL ID：200903095685041690
バルク波デバイス
発明者：
,
,
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中島 司朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-092461
公開番号（公開出願番号）：特開2005-318547
出願日： 2005年03月28日
公開日（公表日）： 2005年11月10日
要約：
【課題】 最近の携帯電話機の使用周波数帯域の広域化に対応可能なバンドパスフィルタとして使用できるバルク波デバイスを提供する。【解決手段】 上面に空隙部を有した基盤の前記空隙部を跨いで圧電体薄膜を架設し、圧電体薄膜の上面には、入力側電極と、出力側電極とが、合わせて3つ以上、間隔をあけて交互に配置される形になるように成膜し、下面には全面電極を成膜する。これにより基本モードと、電極数に対応した高次モードの弾性波が励振され、二つのモードの周波数特性を合成することにより、周波数帯域を広げる。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
圧電体薄膜の少なくとも一方の主面に、入力電極と、出力電極とが、合計3つ以上、間隔をあけて配置された共振体構造を有し、
前記入出力電極のうちの少なくとも1は、前記共振体の高次共振モードにおける弾性波の腹部分が存する前記圧電体薄膜上の部位に、配置されてなる
ことを特徴とするバルク波デバイス。
IPC (5件)：
H03H9/56
, H01L41/09
, H01L41/187
, H01L41/22
, H03H9/17
H03H9/56 D
, H03H9/17 F
, H01L41/08 L
, H01L41/18 101B
, H01L41/22 Z
5J108AA07
, 5J108CC11
, 5J108EE03
, 5J108EE04
, 5J108EE07
, 5J108FF01
, 5J108FF02
, 5J108GG03
, 5J108KK07
