特許
J-GLOBAL ID：200903095694228824
吸着保持具
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
内原 晋
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-170813
公開番号（公開出願番号）：特開平5-016088
出願日： 1991年07月11日
公開日（公表日）： 1993年01月26日
要約：
【要約】【目的】基板1の平坦度を高い精度に維持しながら吸着保持する。【構成】基板1を吸着する面が高い精度の平坦度に形成されるとともに表面に多孔を有する多孔質の微粒子焼結体3を備え、この微粒子焼結体3を真空排気することによって基板1を吸着保持する。
請求項（抜粋）：
表面に多孔を有する板状の多孔質微粒子焼結体と、この多孔質微粒子焼結体を一面に取付けるとともに他面に第1の真空排気穴が形成されるベースとを備え、前記多孔質微粒子焼結体に基板を乗せ、前記真空排気穴より真空排気して前記多孔質微粒子焼結体に前記基板を吸着保持することを特徴とする吸着保持具。
IPC (2件)：
引用特許：
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