特許

J-GLOBAL ID：200903095695886574

傾斜機能材料の製造方法

発明者： 湯浅 基和 ,  屋良 卓也 ,  西口 直樹
出願人/特許権者： 積水化学工業株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-006673
公開番号（公開出願番号）：特開2000-192246
出願日： 1999年01月13日
公開日（公表日）： 2000年07月11日
要約：

【要約】【課題】 長尺基材でも連続的に傾斜機能薄膜を被覆でき、且つ、高度の真空度を必要とせず、大気圧近傍でプラズマ放電を行うことにより、高速で薄膜を形成できる傾斜機能材料の製造方法を提供する。【解決手段】 大気圧近傍の圧力下で、一対の対向電極3、4間に基材5を配置し、該対向電極間3、4に電圧立ち上がり時間が100μs以下、電界強度が1〜100kV/cmのパルス状の電圧を印加して、放電プラズマ処理を行うに当たり、放電空間10中に2種以上の相異なる処理用ガスを、その混合比率を連続的に変化させながら供給する。

請求項（抜粋）：

大気圧近傍の圧力下で、一対の対向電極間に基材を配置し、該対向電極間に電圧立ち上がり時間が100μs以下、電界強度が1〜100kV/cmのパルス状の電圧を印加して、放電プラズマ処理を行うに当たり、放電空間中に2種以上の相異なる処理用ガスを、その混合比率を連続的に変化させながら供給することを特徴とする傾斜機能材料の製造方法。

IPC (2件)：

C23C 16/52 ,  G02B 1/10

FI (2件)：

C23C 16/52 ,  G02B 1/10 Z

Fターム (24件)：

2K009AA02 ,  2K009AA15 ,  2K009BB02 ,  2K009BB06 ,  2K009BB12 ,  2K009BB13 ,  2K009BB14 ,  2K009BB24 ,  2K009CC02 ,  2K009CC03 ,  2K009CC42 ,  4K030AA06 ,  4K030AA09 ,  4K030AA11 ,  4K030BA44 ,  4K030BA46 ,  4K030BB11 ,  4K030EA01 ,  4K030FA03 ,  4K030GA14 ,  4K030JA06 ,  4K030JA09 ,  4K030JA11 ,  4K030JA17