特許

J-GLOBAL ID：200903095710734182

混合装置

発明者： 角掛 泰洋 ,  川嵜 一政
出願人/特許権者： トキコ株式会社
代理人 (1件)： 伊東 忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-358240
公開番号（公開出願番号）：特開2003-154243
出願日： 2001年11月22日
公開日（公表日）： 2003年05月27日
要約：

【要約】【課題】 本発明は2種以上の流体を所定の比率で均一に混合させることを課題とする。【解決手段】 混合装置10は、薬液供給経路12を介して供給された50%フッ化水素酸(薬液)と、純水供給経路14を介して供給された純水とを混合ノズル16で混合するように構成されている。混合装置10は、流体供給開始時、混合比率の高い方の流体(純水)を供給する流量調整弁50を開弁させた後、混合比率の低い方の流体(薬液)を供給するための開閉弁30及び44を開弁させ、且つ、流体供給停止時、混合比率の低い方の流体(薬液)を供給する開閉弁30及び44を閉弁させた後、混合比率の高い方の流体(純水)を供給する流量調整弁50を閉弁させるため、混合ノズル16から吐出される純水と薬液とが混合された液の濃度が規定以下に低下することがなく、所定濃度の液を安定供給することが可能になる。

請求項（抜粋）：

異なる種類の流体を個別に供給する複数の流体供給経路と、該複数の流体供給経路毎に配された複数の開閉弁と、前記複数の流体供給経路の下流端部が合流し、前記複数種の流体が混合されて供給される混合経路と、流体供給開始時、前記複数種の流体のうち、混合比率の高い方の流体を供給する流体供給経路に配された開閉弁を開弁させた後に混合比率の低い方の流体を供給する流体供給経路に配された開閉弁を順次開弁させ、且つ、流体供給停止時、混合比率の低い方の流体を供給する流体供給経路に配された開閉弁を閉弁させた後に混合比率の高い方の流体を供給する流体供給経路に配された開閉弁を順次閉弁させる制御手段と、を備えてなることを特徴とする混合装置。

IPC (4件)：

B01F 3/08 ,  B01F 5/08 ,  B01F 15/02 ,  B01F 15/04

FI (4件)：

B01F 3/08 Z ,  B01F 5/08 ,  B01F 15/02 A ,  B01F 15/04 A

Fターム (8件)：

4G035AB37 ,  4G035AC26 ,  4G035AE02 ,  4G035AE13 ,  4G037AA02 ,  4G037BA01 ,  4G037BB06 ,  4G037EA01