焦点位置検出装置及びそれを用いるレーザ加工装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：平木祐輔 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-010926
公開番号（公開出願番号）：特開平9-201689
出願日： 1996年01月25日
公開日（公表日）： 1997年08月05日
要約：

【要約】【課題】簡単な構造で、合焦位置から大きくずれているとき、どちら方向にずれているかを容易に判別することができる焦点位置検出装置を提供する。【解決手段】 Zステージ29上に載置された試料27に対して、対物レンズ35の光軸に対して傾斜した方向から照明光学系22〜26により、スリット像を投影する。試料27で反射したスリット像は、結像光学系30によって2分割光検出器34上に結像される。信号処理装置36は、2分割光検出器の2つの出力信号A,Bから演算(A-B)/(A+B)を行い、Zステージ駆動のためのサーボ信号を出力する。

請求項（抜粋）：

試料を載置して対物レンズの光軸方向に駆動するステージと、前記光軸方向に対して傾斜した方向から前記試料を照明する照明光学系と、前記試料で反射した照明光を結像する結像光学系と、前記結像光学系のほぼ結像位置に配置され、前記試料で反射した照明光を検出する分割光検出器と、前記分割光検出器の少なくとも2つの出力信号からサーボ信号を出力する出力手段と、前記サーボ信号に基づいて前記ステージの前記光軸方向への駆動を制御する制御手段とを備えることを特徴とする焦点位置検出装置。

IPC (3件)：

B23K 26/04 , G02B 7/28 , G03B 13/36

FI (3件)：

B23K 26/04 C , G02B 7/11 H , G03B 3/00 A

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