特許
J-GLOBAL ID：200903095712229140
静電チャック
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-258148
公開番号（公開出願番号）：特開平10-107133
出願日： 1996年09月30日
公開日（公表日）： 1998年04月24日
要約：
【要約】【課題】吸着特性を向上させるとともに、被吸着物の離脱応答性を高め、かつ塵埃や摩耗粉の付着の少ない静電チャックを提供する。【解決手段】静電作用により被吸着物を吸着保持する静電チャックの吸着面を遷移金属をドープしてなる単結晶アルミナにより形成する。
請求項（抜粋）：
誘電体層の下面に電極を備えるとともに、上面を吸着面としてなる静電チャックにおいて、上記誘電体層を遷移金属をドープしてなる単結晶アルミナにより形成したことを特徴とする静電チャック。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/68 R
, H02N 13/00 D
