特許
J-GLOBAL ID:200903095720619802
三次元測定機用プローブ
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
木下 実三 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-319897
公開番号(公開出願番号):特開平5-126556
出願日: 1991年11月07日
公開日(公表日): 1993年05月21日
要約:
【要約】【目的】 プローブと被測定物との摩擦を無くすことができ、三次元曲面を有する被測定物であっても高精度に測定できる三次元測定機用プローブの提供。【構成】 プローブ1のスタイラス2の先端に球3を配置し、球3をコイル10による磁気回路によりスタイラス2に近づく方向に吸引するとともに、エア供給源7からエア供給孔4、ノズル16を介して供給される空気によりスタイラス2から離れる方向に付勢し、制御回路14で吸引力を調整して球3をスタイラス2から所定間隔離れた位置に保持する。球3は被測定物に当接しても自由に回転できるので、被測定物との間に摩擦力が発生せず、被測定物を高精度に測定できる。
請求項(抜粋):
プローブ本体と、このプローブ本体に対し三次元方向に変位可能に保持されたスタイラスと、このスタイラスの先端部に配置された磁性体からなる球と、この球をスタイラスに近づく方向に磁気的に吸引する吸引手段と、前記球に向かって空気を噴出して球をスタイラスから離れる方向に付勢する付勢手段と、前記吸引手段の吸引力および付勢手段の付勢力の少なくとも一方を調整して球をスタイラスから所定間隔離れた位置に保持する間隔調整手段と、を備えることを特徴とする三次元測定機用プローブ。
IPC (2件):
G01B 21/20 101
, G01B 5/20
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