連続厚さ測定装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：並川啓志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-045065
公開番号（公開出願番号）：特開平8-219756
出願日： 1995年02月10日
公開日（公表日）： 1996年08月30日
要約：

【要約】【目的】?@測定装置の可搬性に富み、?A測定位置の精度が高く、また、?B狭い空間にも設置可能である厚さの連続測定装置を提供する。【構成】(a)被測定物の一面上から厚さを測定する厚さセンサ部5と、(b)厚さセンサ部が移動可能に取り付けられるフレキシブルな支持部2と、(c)支持部における厚さセンサ部の位置を検知する位置センサ部6と、(d)支持部を被測定物の一面上に固定する固定手段3とから構成される

請求項（抜粋）：

被測定物の厚さを連続的に測定する連続厚さ測定装置において、(a)被測定物の一面上から厚さを測定する厚さセンサ部と、(b)厚さセンサ部が移動可能に取り付けられるフレキシブルな支持部と、(c)支持部における厚さセンサ部の位置を検知する位置センサ部と、(d)支持部を被測定物の一面上に固定する固定手段とから構成されることを特徴とする連続厚さ測定装置。

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