特許

J-GLOBAL ID：200903095722967018

カラーフィルタの製造方法とカラー液晶表示素子

発明者： 鳥越 恒光
出願人/特許権者： カシオ計算機株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-157069
公開番号（公開出願番号）：特開平8-327814
出願日： 1995年05月31日
公開日（公表日）： 1996年12月13日
要約：

【要約】【目的】 高品位の画像を表示することが可能な液晶表示素子用カラーフィルタの製造方法を提供することである。【構成】 カラーレジスト膜を形成し(S2)、カラーレジスト膜をプリベイクし(S3)、続いて、フォトマスクを用いて露光する(S4)。露光後、第1のポストベイクを行い(S5)、続いて、現像してカラーフィルタを形成する(S6)。形成されたカラーフィルタをベイクして(S8)、カラーフィルタを完成する。この処理をカラーフィルタの色毎に繰り返し、RGB3色のカラーフィルタを形成する。プリベイクのベイク温度と第1のポストベイクのベイク温度を制御することにより、カラーフィルタの端部に形成するテーパーの角度を制御し、カラーフィルタの厚さに最適なテーパー角度を設定する。

請求項（抜粋）：

カラーフィルタ形成用の感光材料膜を形成する工程と、前記感光材料膜をプリベイクする工程と、形成するカラーフィルタの形状に対応する所定のフォトマスクを用いて前記感光材料膜を露光する露光工程と、形成するカラーフィルタの端部に形成するテーパーの角度に応じた温度で、露光された前記感光材料膜をベイクする第1のポストベイク工程と、ポストベイクされた前記感光材料膜を現像する現像工程と、現像された前記感光材料膜をポストベイクする第2のポストベイク工程と、を具備し、端部にテーパーを有するカラーフィルタを形成する、ことを特徴とするカラーフィルタの製造方法。

IPC (3件)：

G02B 5/20 101 ,  G02B 5/22 ,  G02F 1/1335 505

FI (3件)：

G02B 5/20 101 ,  G02B 5/22 ,  G02F 1/1335 505