特許

J-GLOBAL ID：200903095724510449

光学素子の研削装置

発明者： 岸田 尚之
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 奈良 武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-299772
公開番号（公開出願番号）：特開平11-129158
出願日： 1997年10月31日
公開日（公表日）： 1999年05月18日
要約：

【要約】【課題】 被研削物に対する形状創成と同時に研削面の鏡面化を行う。【解決手段】 光学素子素材1をW軸モータ3により回転可能に保持する。電気泳動現象用陽極となる研磨用部材20を研削砥石11に絶縁層22を介して固着する。研磨用部材20および研削砥石11をT軸モータ17により回転可能に保持し、光学素子素材1に創成する球面5の球心Oを中心として回動可能とする。研磨用部材20に対向して電気泳動現象用陰極24を設け、研削液供給装置34からノズル33を介し、マイナスに帯電した研磨用微粒子を含む研磨液を研磨用部材20と電気泳動現象用陰極24との間に供給する。電源30により研磨用部材20と電気泳動現象用陰極24に電圧を印加し、マイナスに帯電している研磨用微粒子を電気泳動現象を利用して、研磨用部材20に付着させる。

請求項（抜粋）：

光学素子素材を研削する研削砥石を具備する研削装置において、前記研削砥石と前記研削砥石の開口した内側空間に配置され、電気泳動現象用陽極となる研磨用部材と、少なくとも前記研磨用部材の近傍に設けられた電気泳動現象用陰極と、前記研磨用部材と前記電気泳動現象用陰極に電圧を印加する電源と、電気泳動現象により、少なくとも前記研磨用部材に電気的に付着する、マイナスに帯電した微粒子を含む研磨液を供給する研磨液供給手段と、を具備していることを特徴とする光学素子の研削装置。

IPC (3件)：

B24B 53/00 ,  B24B 13/01 ,  B24B 13/04

FI (3件)：

B24B 53/00 D ,  B24B 13/01 ,  B24B 13/04 J