特許

J-GLOBAL ID：200903095728598162

電子線転写露光装置におけるホロービーム評価方法及びホロービーム調整方法

発明者： 中筋 護
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 渡部 温
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-054920
公開番号（公開出願番号）：特開2000-251814
出願日： 1999年03月03日
公開日（公表日）： 2000年09月14日
要約：

【要約】【課題】 ホロービームを用いる電子線転写露光装置において、ホロービームを評価する方法を提供する。【解決手段】 レチクル10を通過した電子ビームをウエハ16上に投影結像させる投影レンズ群の最もウエハ寄りのレンズ15の入射瞳において、ビームを中空のホロービームとする。この入射瞳の位置にコントラスト開口14を配置し、この開口板の光軸から外れた位置に小孔13を設ける。この小孔13上を上記ホロービームで走査し、小孔を通過したビームの強度を測定することにより該ホロービームを評価する。

請求項（抜粋）：

感応基板上に転写すべきパターンを有するレチクルを電子線(照明ビーム)で照明し、レチクルを通過した電子線(パターンビーム)を感応基板上に投影結像させることによりパターンを転写する際に、上記パターンビームを感応基板上に投影結像させる投影レンズの入射瞳において中央部の強度が周辺部の強度より小さいホロービームとし、上記入射瞳の位置にコントラスト開口を配置し、該コントラスト開口又はその光学的共役面位置の光軸から外れた位置に小孔を設け、該小孔上を上記ホロービームで走査することにより該ホロービームを評価することを特徴とする電子線転写露光装置におけるホロービーム評価方法。

IPC (4件)：

H01J 37/147 ,  G03F 7/20 504 ,  H01J 37/305 ,  H01L 21/027

FI (5件)：

H01J 37/147 C ,  G03F 7/20 504 ,  H01J 37/305 B ,  H01L 21/30 541 V ,  H01L 21/30 541 U

Fターム (16件)：

2H097BA01 ,  2H097BB01 ,  2H097CA16 ,  2H097EA02 ,  2H097LA10 ,  5C033GG03 ,  5C033GG05 ,  5C034BB01 ,  5C034BB02 ,  5C034BB04 ,  5F056AA22 ,  5F056BA02 ,  5F056BB10 ,  5F056CB32 ,  5F056CD15 ,  5F056FA07