特許

J-GLOBAL ID：200903095733631402

測定装置および測定方法

発明者： 湯浅 寛
出願人/特許権者： 松下電子工業株式会社
代理人 (1件)： 小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-066790
公開番号（公開出願番号）：特開平5-272953
出願日： 1992年03月25日
公開日（公表日）： 1993年10月22日
要約：

【要約】【目的】 セル内の任意の位置への試料の移動にオペレータによる計数を不要にし、また、移動に係わる時間を短縮する。【構成】 試料3上方には電子ビーム発生源1および電子ビーム操作範囲制御部2が配置されている。試料3の表面から発生した2次電子を検出する2次電子検出器8が試料3近傍に配置されている。2次電子検出器8には、試料3から発生する2次電子信号をアナログ/デジタル変換するA/Dコンバータ9が接続されている。さらに得られた2次電子信号は信号強度の変化割合によって2値化される。この2値化を行なうために2値化処理装置10が接続されている。

請求項（抜粋）：

試料台上に固定された試料と、前記試料の任意の範囲に照射される電子ビームと、前記電子ビームによって前記試料表面から発生する2次電子を検出する2次電子検出器と、前記2次電子検出器で検出された2次電子信号と、前記2次電子の信号をアナログ/デジタル変換するA/Dコンバータと、前記2次電子の信号の信号強度を2値化する2値化処理装置と、前記2値化された信号を計数する計数器を備えたことを特徴とする測定装置。

IPC (6件)：

G01B 15/00 ,  G01R 31/02 ,  G01R 31/26 ,  H01J 37/22 ,  H01L 21/66 ,  H01L 27/04