特許

J-GLOBAL ID：200903095739890680

ガラス状カーボン被覆炭素材

発明者： 堂薗 充昭 ,  徳永 武士
出願人/特許権者： 東海カーボン株式会社
代理人 (1件)： 福田 保夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-080931
公開番号（公開出願番号）：特開2000-272987
出願日： 1999年03月25日
公開日（公表日）： 2000年10月03日
要約：

【要約】【課題】 耐酸化性や耐プラズマ性などの化学的安定性に優れたガラス状カーボン被覆炭素材を提供する。【解決手段】 炭素質基材面に、Si原子とO原子が均一に分散したガラス状カーボン被膜が形成被着されてなるガラス状カーボン被覆炭素材。ガラス状カーボン被膜は、X線回折により金属Si及びSi化合物が観察されず、かつ透過型電子顕微鏡(TEM) の観察によって粒状組織が識別できない組織性状を備えており、またSi原子の含有量(x)wt%が0.5〜15wt%、O原子の含有量(y)wt%がx+2≧y≧x-2の範囲内であると、より優れた耐酸化性および耐プラズマ性が付与される。

請求項（抜粋）：

炭素質基材面に、けい素(Si)原子と酸素(O)原子が均一に分散したガラス状カーボン被膜が形成被着されてなることを特徴とするガラス状カーボン被覆炭素材。

IPC (2件)：

C04B 41/87 ,  C04B 35/52

FI (2件)：

C04B 41/87 T ,  C04B 35/54 E

Fターム (4件)：

4G032AA01 ,  4G032AA04 ,  4G032AA26 ,  4G032BA01