特許

J-GLOBAL ID：200903095741605151

結晶基板材料を含むレチクル

発明者： カール-ハインツ・シュスター ,  クリスティアン・ヴァグナー
出願人/特許権者： カール・ツアイス・スティフツング
代理人 (1件)： 山川 政樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-054123
公開番号（公開出願番号）：特開平11-316455
出願日： 1999年03月02日
公開日（公表日）： 1999年11月16日
要約：

【要約】【課題】 100〜200nmの範囲の波長に適し且つ熱特性及び光学的特性に関して改善されたレチクルを提供することである。【解決手段】 照明光学系(2)と、基板材料(10)としてのフッ化マグネシウムを含むレチクル(1)とを有するマイクロリソグラフィの露光装置であって、照明光学系(2)は偏光(20,PL,PR)した光を供給し、レチクル(1)でフッ化マグネシウムの結晶主軸はほぼ光軸(A)の方向に向いている。さらに、適切な冷却装置(5,13,14,50,51,52)が提案される。

請求項（抜粋）：

透明な、光学的に単軸の結晶から成る基板材料(10)を含むレチクルにおいて、結晶の主軸(A)がレチクル(1)の面に対しほぼ垂直であることを特徴とするレチクル。