フィルタ検査用スキャン装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：北村修一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-323924
公開番号（公開出願番号）：特開2004-157038
出願日： 2002年11月07日
公開日（公表日）： 2004年06月03日
要約：

【課題】装置を全体として小型化しながら、最大フィルタ検査可能域を大きく取る。【解決手段】装置基台に支持した第1フレームに第2フレームを第1方向への走行移動が自在な状態に支持し、第2フレームにフィルタ検査具の取付部を第1方向と直交する第2方向への走行移動が自在な状態に支持するとともに、第1フレームを装置基台に対し第1方向への走行移動が自在な状態に支持し、第2フレームを第1フレームに対し第1方向への走行移動とは独立して第2方向への走行移動が自在な状態に支持してある。【選択図】図5

請求項（抜粋）：

装置基台に支持した第1フレームに第2フレームを第1方向への走行移動が自在な状態に支持し、その第2フレームにフィルタ検査具の取付部を前記第1方向と直交する第2方向への走行移動が自在な状態に支持してあるフィルタ検査用スキャン装置であって、前記第1フレームを前記装置基台に対し前記第1方向への走行移動が自在な状態に支持し、前記第2フレームを前記第1フレームに対し前記第1方向への走行移動とは独立して前記第2方向への走行移動が自在な状態に支持してあるフィルタ検査用スキャン装置。

IPC (1件)：

G01N15/08

FI (1件)：

G01N15/08 A

Fターム (3件)：

4D058PA01 , 4D058PA20 , 4D058SA04

引用特許：

出願人引用 (6件)

特開昭63-081512
特開昭64-057318
自律移動型墨出しロボット
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-159606 出願人：新菱冷熱工業株式会社, 梶谷誠

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審査官引用 (6件)

特開昭63-081512
特開昭64-057318
自律移動型墨出しロボット
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-159606 出願人：新菱冷熱工業株式会社, 梶谷誠

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