特許
J-GLOBAL ID：200903095744658639
光学式変位計
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉村 暁秀 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-141627
公開番号（公開出願番号）：特開平5-332769
出願日： 1992年06月02日
公開日（公表日）： 1993年12月14日
要約：
【要約】【目的】 光三角法に基づく光学式変位計において、被測定面の状態に拘らず、被測定面上でのスポットと、位置検出素子上でのスポットとを常に1:1として高精度の測定を行うようにする。【構成】 光源11から放射される光を被測定面13上にスポットとして投射し、その反射光を第1受光レンズ14により集光し、その出射光を、このレンズの後側焦点に配置したピンホール15に通して一部の光束のみを取り出し、これをピンホールの直後に配置した第2の受光レンズ16によって位置検出素子17上に投射する。
請求項（抜粋）：
被測定面からの反射光の位置の変化を検出して被測定面の変位を測定する光学式変位計において、被測定面からの反射光を集光するレンズの後側焦点にピンホールを配置し、このピンホールを通過した光束のみを位置検出素子に入射させるように構成したことを特徴とする光学式変位計。
IPC (2件)：
前のページに戻る
