特許
J-GLOBAL ID：200903095748295867
半導体装置搬送装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
尾川 秀昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-329271
公開番号（公開出願番号）：特開平10-166289
出願日： 1996年12月10日
公開日（公表日）： 1998年06月23日
要約：
【要約】【課題】 ロボットヘッド4に取り付けた真空吸着ノズル7により半導体装置10を真空吸着しロボットヘッド4の多軸移動により移動して電気的特性の測定、分類に供し、そしてこれが済んだとき再度半導体装置10を真空吸着してトレー11上方に移動し真空吸着ノズル7による真空吸着状態を解除してそこに置く動作を順次繰り返す半導体装置搬送装置において、半導体装置10の2個置き異常や内リブ乗り上げ異常等の収納異常を検知し、収納トレー間に半導体装置が挟み込まれるという状態の発生、内リブ乗り上げ異常は半導体装置の位置ズレ、これに基づくリード変形の発生を防止する。【解決手段】 ロボットヘッド4に、真空吸着ノズル7の該ヘッド4に対する高さが半導体装置10に当たって生じた負荷により正常高さを越えたときそのことを検出する真空吸着ノズル高さ異常検出センサ14を設ける。
請求項（抜粋）：
ロボットヘッドに取り付けた真空吸着ノズルにより半導体装置を真空吸着しロボットヘッドの多軸移動により搬送し、半導体装置収納部上方にて真空吸着ノズルによる真空吸着状態を解除してそこに置く動作を行う半導体装置搬送装置において、上記ロボットヘッドに、真空吸着ノズルの該ヘッドに対する高さが正常高さを越えたか否かを検出する真空吸着ノズル高さ異常検出センサを設けたことを特徴とする半導体装置搬送装置。
IPC (2件)：
FI (3件)：
B25J 15/06 N
, B25J 15/06 B
, G01R 31/26 Z
