特許
J-GLOBAL ID：200903095751229344
薄膜形成装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
永井 冬紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-346853
公開番号（公開出願番号）：特開平5-179443
出願日： 1991年12月27日
公開日（公表日）： 1993年07月20日
要約：
【要約】【目的】 薄膜形成中に薄膜の光学特性を計測する。【構成】 内部が真空に保持されるチャンバ11と、このチャンバ11内に設けられる基板21と対向配置されたターゲット本体131とを備え、ターゲット部13の中央部には光路が設けられ、この光路を通って基板21に形成される薄膜22の表面に計測光が入射される。基板21を透過する光量や反射する光量を計測して薄膜22の光学特性を計測する。
請求項（抜粋）：
内部が真空に保持されるチャンバと、このチャンバ内に設けられる基板と対向配置されたターゲットとを備え、前記基板上に薄膜を形成する薄膜形成装置において、前記ターゲットの一部には、前記基板に形成される薄膜の光学特性を計測する光を通過させる光路が設けられていることを特徴とする薄膜形成装置。
IPC (2件)：
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