特許
J-GLOBAL ID：200903095757461435
水溶性パターン形成材料
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小島 隆司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-214274
公開番号（公開出願番号）：特開平9-043838
出願日： 1995年07月31日
公開日（公表日）： 1997年02月14日
要約：
【要約】【解決手段】 下記一般式(1)【化1】(式中、pは1〜10の整数、Rは水溶性アミノ化合物を示す。)で示されるパーフルオロアルキルエーテルカルボン酸アミン塩型界面活性剤を水に溶解してなることを特徴とする水溶性パターン形成材料。【効果】 本発明の水溶性パターン形成材料は、マイクロバブルを発生させ難く、マイクロバブル数が著しく少ないものであり、欠陥の少ないものである。
請求項（抜粋）：
下記一般式(1)【化1】(式中、pは1〜10の整数、Rは水溶性アミノ化合物を示す。)で示されるパーフルオロアルキルエーテルカルボン酸アミン塩型界面活性剤を水に溶解してなることを特徴とする水溶性パターン形成材料。
IPC (5件)：
G03F 7/004 504
, C09D201/00 PDC
, G03F 7/095 501
, G03F 7/11 501
, H01L 21/027
G03F 7/004 504
, C09D201/00 PDC
, G03F 7/095 501
, G03F 7/11 501
, H01L 21/30 575
