特許

J-GLOBAL ID：200903095760825049

レーザ装置

発明者： 星野 秀往 ,  杉本 幸彦
出願人/特許権者： 株式会社小松製作所
代理人 (1件)： 木村 高久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-245765
公開番号（公開出願番号）：特開2002-057385
出願日： 2000年08月14日
公開日（公表日）： 2002年02月22日
要約：

【要約】【課題】 温度管理又は湿度管理又は防塵管理が十分に実施されていない施設においても、有毒ガスを含むレーザ媒質ガスを励起することにより、所定の光品位を有するレーザ光をレーザ発振することのできるレーザ装置を提供する。【解決手段】 有毒ガスであるフッ素を含むレーザ媒質ガスが充填されるレーザチャンバなどレーザ発振するのに必要な各構成要素が、筐体11に収容されている。筐体11の上面11Bには、強制的に排気される筐体11の内部の雰囲気をスクラバに案内する配管の一方と接続するための接続部13が形成されている。その配管の他方は有毒ガスを除害するスクラバと接続される。筐体11の側面11Cに形成された導入口14に対向して、筐体11近傍にある雰囲気を清浄(除塵)して筐体11の内部へ案内する除塵手段15が設けられている。

請求項（抜粋）：

装置本体を収容する筐体を有し、該筐体内の雰囲気を外部に排気する配管に接続する接続部を前記筐体に設けたレーザ装置であって、前記筐体に配置される除塵手段を備えたことを特徴とするレーザ装置。

IPC (2件)：

H01S 3/036 ,  H01S 3/041

FI (2件)：

H01S 3/03 J ,  H01S 3/04 G

Fターム (8件)：

5F071AA04 ,  5F071DD08 ,  5F071JJ05 ,  5F072AA06 ,  5F072JJ05 ,  5F072JJ11 ,  5F072TT27 ,  5F072YY06