特許

J-GLOBAL ID：200903095765302095

金属加工用感光性樹脂組成物積層体

発明者： 柳ケ瀬 昭 ,  藤原 匡之 ,  大谷 博行
出願人/特許権者： 三菱レイヨン株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-072782
公開番号（公開出願番号）：特開平9-265180
出願日： 1996年03月27日
公開日（公表日）： 1997年10月07日
要約：

【要約】【課題】 金属加工用のレジストとして使用可能な耐エッチング性と剥離片の溶解性を有するドライフィルムレジストを提供する。【解決手段】 支持フィルム(A)と感光性樹脂層(B)と保護フィルム(C)とを順次積層してなる積層体であって、感光性樹脂層(B)が、3〜15個の炭素原子を有するα,β-不飽和カルボキシル基含有単量体の少なくとも1種15〜35重量%と他の共重合可能な単量体85〜65重量%と共重合したバインダー用熱可塑性重合体(b-1)と、アクリル酸、アクリル酸二量体及びアクリル酸三量体の3成分混合物とアルコール類を原料として得られた1分子中に2個以上のエチレン性不飽和基を有する少なくとも1種の架橋性単量体を含有する架橋性単量体(b-2)と、光重合開始剤(b-3)とから構成された樹脂組成物からなる層であることを特徴とする感光性樹脂組成物積層体。

請求項（抜粋）：

支持フィルム(A)と感光性樹脂層(B)と保護フィルム(C)とを順次積層してなる積層体であって、感光性樹脂層(B)が、3〜15個の炭素原子を有するα,β-不飽和カルボキシル基含有単量体の少なくとも1種15〜35重量%と他の共重合可能な単量体85〜65重量%と共重合したバインダー用熱可塑性重合体(b-1)と、アクリル酸、アクリル酸二量体及びアクリル酸三量体の3成分混合物とアルコール類を原料として得られた1分子中に2個以上のエチレン性不飽和基を有する少なくとも1種の架橋性単量体を含有する架橋性単量体(b-2)と、光重合開始剤(b-3)とから構成された樹脂組成物からなる層であることを特徴とする感光性樹脂組成物積層体。

IPC (6件)：

G03F 7/004 512 ,  B32B 27/30 ,  C23F 1/00 102 ,  G03F 7/027 502 ,  G03F 7/031 ,  G03F 7/033

FI (6件)：

G03F 7/004 512 ,  B32B 27/30 A ,  C23F 1/00 102 ,  G03F 7/027 502 ,  G03F 7/031 ,  G03F 7/033