特許
J-GLOBAL ID：200903095769690200
空間型光偏向素子
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
志賀 正武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-126916
公開番号（公開出願番号）：特開平8-320507
出願日： 1995年05月25日
公開日（公表日）： 1996年12月03日
要約：
【要約】【目的】 光インターコネクションに適用した際に集積度の向上を図ることができる空間型光偏向素子を提供する。【構成】 半導体基板17上にスイッチ領域と偏向素子アレイ領域16を有し、偏向素子アレイ領域16には導波路層20とクラッド層21からなる複数本のストライプ27、27、...が互いに平行に形成され、各ストライプ27には回折格子25a〜25eが形成されるとともに、各回折格子の溝の方向と基板の幅方向のなす角度が基板中央側の回折格子から基板周辺側に向けて大きくなっており、各ストライプの上方に上部電極層22が、基板の下方に下部電極層23が形成されている。
請求項（抜粋）：
半導体基板上に、導波路層とクラッド層からなる複数本のストライプが前記半導体基板の幅方向に並べられて互いに平行に形成され、これらストライプには前記導波路層に入射された光を上方に回折させるための回折格子がそれぞれ形成されるとともに、これら各回折格子の溝の方向と前記半導体基板の幅方向のなす角度が素子中央側の回折格子から素子周辺側の回折格子に向けて大きくなる方向に変化するものとされ、前記ストライプの上方に回折光を出射する窓部を有する上部電極層が形成され、前記半導体基板の下方に下部電極層が形成されてなる偏向素子アレイ領域を有することを特徴とする空間型光偏向素子。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
審査官引用 (6件)
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特開平3-089326
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特開平3-089327
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特開昭61-062024
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