光線の多重散乱を伴う粒度測定の方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：内原晋
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-357010
公開番号（公開出願番号）：特開平9-196840
出願日： 1996年12月25日
公開日（公表日）： 1997年07月31日
要約：

【要約】【課題】酸化アルミニウムなどの微粒子の大きさ、すなわち粒度をレーザ光線の回折の応用により測定する装置において、多重回折による悪影響を受けることなく正確に測定することを可能にする。【解決方法】集合レーザ回折(ELD)装置に適用可能な方法で多重散乱現象に対する補正を加えたのち粒度分布をリアルタイムで計算する。一つの実施例において、単一散乱モードを反復計算するニュートン法類似の数値計算手法を提供する。この方法は高精度リアルタイム監視/制御用に適している。

請求項（抜粋）：

集合レーザ回折装置において粒度分布の正確な計算に応用可能な単一散乱シグネチャを散乱シグネチャ測定結果から生成する方法であって、散乱シグネチャSmを測定する過程と、単一散乱シグネチャS1の現在値として初期値を割り当てる過程と、前記現在値を用い所定の収束規準が充足されるまで、(a)前記単一散乱シグネチャS1の前記現在値を用いて散乱再分布関数Hの現在値を計算する過程と、(b)正確にn回(nは1以上の整数)の散乱の発生する確率を各々が表す複数の多重散乱確率Pnを計算する過程と、(c)多重散乱シグネチャの予測値Smpの計算を関係【数C1】を用いて行う過程と、(d)前記多重散乱シグネチャ測定値Smおよび前記多重散乱シグネチャ予測値Smpを用いて前記単一散乱シグネチャS1の前記現在値を更新する過程とを反復実行する過程とを含む方法。

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