特許
J-GLOBAL ID：200903095780021515
ペリクルの製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山本 亮一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-095758
公開番号（公開出願番号）：特開平8-292555
出願日： 1995年04月21日
公開日（公表日）： 1996年11月05日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 ペリクル製造時に使用するペリクルフレーム内面への防塵性コーティング剤および/または粘着剤の塗布を塗布ムラや塗り残しなく、均一に塗布する方法の提供を目的とするものである。【構成】 本発明によるペリクルの製造方法は、図1に示したようにペリクルフレーム内面への防塵性コーティング剤および/または粘着剤の塗布を、ローラーを組み込んだ自動XYZステージまたはロボットを用いて行なうことを特徴とするものである。
請求項（抜粋）：
ペリクルフレーム内面への防塵用コーティング剤および/または粘着剤の塗布を、ローラーを組み込んだ自動ステージまたはロボットを用いて行なうことを特徴とするペリクルの製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G03F 1/14 J
, H01L 21/30 502 P
