特許

J-GLOBAL ID：200903095790410137

荷電粒子線装置の開口と光軸の軸合わせ方法

発明者： 清水 弘泰
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 細江 利昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-012621
公開番号（公開出願番号）：特開2001-202912
出願日： 2000年01月21日
公開日（公表日）： 2001年07月27日
要約：

【要約】【課題】 開き角制限開口の中心と荷電粒子線の光軸を正確に合わせる方法を提供する。【解決手段】 光軸を合わせる場合には、投影レンズ系を調整して、開き角制限開口7の像が結像面12に結像されるようにする。結像した電子線のうち、微小開口13を通過したものは、シンチレータ14で検出され、光電子増倍管15によって電流に変換される。この状態で、走査偏向器16を駆動し、結像面12上に結像した開き角制限開口7の像をx-yの2次元方向に移動させて走査する。そして像の移動量を(x,y)で示すとき、それに対応して検出器で検出される電子線の強度をA(x,y)で示す。A(x,y)の最大値より電子線の光軸位置を求め、A(x,y)を2値化して中心位置求めることにより開き角制限開口7の像を求める。そして両者が一致するように偏向器6を調整する。

請求項（抜粋）：

荷電粒子線源から放出される荷電粒子線を、荷電粒子線レンズ、偏向器、開き角制限開口等からなる荷電粒子線照射光学系を通して使用する荷電粒子線装置において、開き角制限開口の中心に光軸を合わせる方法であって、開き角制限開口の像を所定の像面に結像させると共に、走査装置により当該像面での結像位置を2次元的に変化させ、その際に当該像面に設けられた微小開口を通過した荷電粒子線の強度分布の2次元像を形成し、当該2次元像の輪郭の中心と、当該2次元像において荷電粒子線の強度分布が最大になる位置とを一致させるように偏向器を調整することにより、開き角制限開口の中心に光軸を合わせることを特徴とする荷電粒子線装置の開口と光軸の軸合わせ方法。

IPC (4件)：

H01J 37/04 ,  G03F 7/20 504 ,  H01J 37/147 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

H01J 37/04 B ,  G03F 7/20 504 ,  H01J 37/147 C ,  H01L 21/30 541 H

Fターム (14件)：

2H097BA01 ,  2H097BB01 ,  2H097BB03 ,  2H097CA16 ,  2H097EA01 ,  2H097GB01 ,  2H097LA10 ,  5C030AA08 ,  5C030AB03 ,  5C033GG04 ,  5F056BA09 ,  5F056BB01 ,  5F056BC01 ,  5F056CB28