特許

J-GLOBAL ID：200903095796585540

接触角の測定装置

発明者： 有賀 亨 ,  藤村 秀彦 ,  小倉 全昭
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 福森 久夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-300914
公開番号（公開出願番号）：特開2002-107282
出願日： 2000年09月29日
公開日（公表日）： 2002年04月10日
要約：

【要約】【課題】 サンプルを置くスペースを広げると共に、高価な機器の使用を不要にすることができる接触角の測定装置を提供する。【解決手段】 基板100の表面101上に滴下した液滴110の接触角を測定する接触角の測定装置において、液滴110を滴下する基板100の表面101に対し垂直の方向に配置された拡大光学系3Aと、拡大光学系3Aの光路上にあって、前記光路を直角または直角に近い角度で曲げるミラー4とを備え、ミラー4によって、水平または水平に近い方向から拡大光学系3Aが基板100の表面101上の液滴110を観察する。

請求項（抜粋）：

固体表面上に滴下した液滴の接触角を測定する接触角の測定装置において、前記液滴を滴下する前記固体の表面に対し垂直の方向に配置された拡大光学系と、前記拡大光学系の光路上にあって、前記光路を直角または直角に近い角度で曲げる鏡部とを備え、前記鏡部によって、水平または水平に近い方向から前記拡大光学系が前記固体表面上の液滴を観察することを特徴とする接触角の測定装置。

IPC (2件)：

G01N 13/00 ,  G01B 11/26

FI (2件)：

G01N 13/00 ,  G01B 11/26 H

Fターム (18件)：

2F065AA32 ,  2F065BB07 ,  2F065BB22 ,  2F065BB23 ,  2F065BB24 ,  2F065CC00 ,  2F065DD00 ,  2F065DD02 ,  2F065FF04 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065KK01 ,  2F065LL12 ,  2F065MM06 ,  2F065PP04 ,  2F065PP12 ,  2F065PP24 ,  2F065TT06