特許
J-GLOBAL ID：200903095798030724
スポット検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
宮川 俊崇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-072767
公開番号（公開出願番号）：特開平6-259784
出願日： 1993年03月09日
公開日（公表日）： 1994年09月16日
要約：
【要約】【目的】 スポットの検査に際し、ノイズに対する影響を受けることが少なく、また、ピックアップの設置方向と関係なしに、再現性のよい測定結果が得られるようにして、スポット径のより正確な測定や、スポットの良否の定量的な判定を可能にする。【構成】 強度がピークの点Pを中心とするn本の線分liを設定し、各線分li上における強度分布Ii(x,y)について、強度がほぼ(th)となるn個の点(位置Mi)を順次求め、各点(位置Mi)を結んだn角形を、最小楕円近似して、スポット径を測定する。【効果】 ノイズの影響を受けず、また、ピックアップの設置方向と関係なく、スポット径が正確に測定できる。
請求項（抜粋）：
レンズからの出射光を撮像素子上に結像させ、該素子上の点(x,y)における強度IN(x,y)を用いて演算処理を行う検査装置において、処理手段として、前記強度IN(x,y)がピークとなる点P(xp,yp)を求める手段と、前記点P(xp,yp)を通り、かつ、前記撮像素子上の複数の線分Li(i=1〜mの整数)上における強度分布IN(x,y)を求める手段と、前記ピークとなる点Pによって2分される線分Liの一方を線分li(liは前記点Pをその一端とする線分で、i=1〜nの整数であり、かつ、n≦2m)としたとき、該線分li上における強度分布Ii(x,y)において、強度がほぼ(th)となる位置Mi〔ただし、(th)は、0<(th)<Ii(xp,yp)の定数〕を求める手段と、前記n個の位置Mi(i=1〜nの整数)について、位置M1からMnを順に結んだn角形を、最小楕円近似する演算手段、とを備えたことを特徴とするスポット検査装置。
IPC (2件)：
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