特許

J-GLOBAL ID：200903095802578420

透明導電膜

発明者： 水野 雅夫 ,  宮本 隆志
出願人/特許権者： 株式会社神戸製鋼所
代理人 (1件)： 明田 莞
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-198711
公開番号（公開出願番号）：特開平9-050711
出願日： 1995年08月03日
公開日（公表日）： 1997年02月18日
要約：

【要約】【課題】 従来のITO膜(Snを添加したIn2O3 からなる透明導電膜)に比べ、比抵抗が低く且つ透過率が高く、特には液晶ディスプレイ(LCD)の大型化、カラー化及び高精細化に対応可能な透明導電膜を提供する。【解決手段】 スパッタリング法等の成膜法により形成され、Ga:1〜10at%を含有するIn2O3 からなることを特徴とする透明導電膜(IGO膜)。【効果】 上記構成のIGO膜は、従来のITO膜に比較して、比抵抗が低く、100 °Cで成膜されたものでも比抵抗:1×10-3Ωcm以下であり、又、透過率が高くて可視光領域で85%以上であり、そのため、特にLCDの透明電極として好適に用いることができ、今後のLCDの大型化、カラー化、高精細化等の高機能化及び品質向上を図ることができる。

請求項（抜粋）：

Ga:1〜10at%を含有するIn2O3 からなることを特徴とする透明導電膜。

IPC (4件)：

H01B 5/14 ,  C01G 15/00 ,  C23C 14/08 ,  G02F 1/1343

FI (4件)：

H01B 5/14 A ,  C01G 15/00 B ,  C23C 14/08 D ,  G02F 1/1343