特許
J-GLOBAL ID:200903095805487689

感光性樹脂組成物

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 阿形 明 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-287301
公開番号(公開出願番号):特開平11-119429
出願日: 1997年10月20日
公開日(公表日): 1999年04月30日
要約:
【要約】【課題】 光硬化性を有し、希アルカリ水溶液による現像が可能であって、耐熱性、耐湿性、電気絶縁性、耐薬品性、可とう性に優れるパターンを与える感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 (A)1分子中に少なくとも2個のエチレン性不飽和結合を有する活性エネルギー線硬化性樹脂、(B)一般式【化1】[Xはアルキル基又は式【化2】(Rは低級アルキル基、低級アルコキシル基、水酸基、アミノ基又は低級アルキル置換アミノ基、nは0又は1〜3の整数、mは0又は1〜4の整数)で表わされるアリール基又はアラルキル基]で表わされるN-置換ジシアンジアミド誘導体、(C)光重合開始剤、(D)反応性希釈剤及び(E)エポキシ系熱硬化性化合物を含有する感光性樹脂組成物とする。
請求項(抜粋):
(A)1分子中に少なくとも2個のエチレン性不飽和結合を有する活性エネルギー線硬化性樹脂、(B)一般式【化1】[式中のXはアルキル基又は式【化2】(ただし、Rは低級アルキル基、低級アルコキシル基、水酸基、アミノ基又は低級アルキル置換アミノ基、nは0又は1〜3の整数、mは0又は1〜4の整数)で表わされるアリール基又はアラルキル基である]で表わされるN-置換ジシアンジアミド誘導体、(C)光重合開始剤、(D)反応性希釈剤及び(E)エポキシ系熱硬化性化合物を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。
IPC (6件):
G03F 7/027 ,  G03F 7/027 515 ,  C08L 63/00 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/028 ,  G03F 7/031
FI (6件):
G03F 7/027 ,  G03F 7/027 515 ,  C08L 63/00 A ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/028 ,  G03F 7/031
引用特許:
審査官引用 (11件)
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