ICP分析装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：西岡義明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-202302
公開番号（公開出願番号）：特開平10-048137
出願日： 1996年07月31日
公開日（公表日）： 1998年02月20日
要約：

【要約】【課題】プラズマトーチに供給するガスの温度変化を少なくし、安定までに要する時間を短くする。【解決手段】プラズマトーチ1の中心部に霧化器によって霧化された溶液試料がキャリアガス6によって供給され、その回りにはプラズマガス7が供給され、最外部にはクーラントガス8が供給されている。プラズマトーチ1上部では高周波コイル3によって電力が供給されてプラズマ炎2が発生しており、ここで励起された試料が発光分光され分析される。プラズマトーチ1にはトーチガス配管11と熱の発生しないガスオペレートバルブ9を通じてArガスが供給されている。ガスオペレートバルブ9を開閉するために、配管12とソレノイドバルブ10を介してバルブ動作用Arガスが供給されており、制御器13はソレノイドバルブ10を制御することで間接的にガスオペレートバルブ9を制御する。

請求項（抜粋）：

プラズマトーチにガスを導入するための配管とこのガス管路を開閉するバルブを有するICP分析装置において、前記バルブをガスオペレートバルブとしたことを特徴とするICP分析装置。

IPC (4件)：

G01N 21/73 , G01N 27/62 , H01J 27/16 , H01J 37/08

FI (4件)：

G01N 21/73 , G01N 27/62 G , H01J 27/16 , H01J 37/08

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