特許

J-GLOBAL ID：200903095815604225

インクジェット記録ヘッドの製造方法

発明者： 佐々木 光祐 ,  大河内 昇 ,  松田 幹彦 ,  松本 浩造
出願人/特許権者： 富士電機株式会社
代理人 (1件)： 山口 巖
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-343757
公開番号（公開出願番号）：特開平5-169667
出願日： 1991年12月26日
公開日（公表日）： 1993年07月09日
要約：

【要約】【目的】キャビティ板溝内面でのインクの濡れ性を向上し、また溝内面に付着した気泡の除去を容易にし、もってインク噴射の信頼性向上ひいては印字品質の向上を図る。【構成】振動板をガラスとし、シリコンからなるキャビティ板1の、ノズル2,加圧室5などからなるインク流路としての溝の内面に、水酸基をもつ物質を成膜する。そのための工程として、キャビティ板1を酸化処理することにより、その溝の内面に酸化シリコンを成膜し、次にこのキャビティ板1と振動板9とを接合した後に、アルカリ洗浄する。その水酸基と、インクに含まれる水との間で水素結合が起こって、インクに対する濡れ性が増し、また溝内面に付着した気泡の除去が容易になる。

請求項（抜粋）：

インク溜め,加圧室およびインク噴射用ノズルが、連通する溝として形成されるシリコンのキャビティ板に、その溝の開口部をふさぐ形でガラスからなる振動板が接合される記録ヘッドの製造方法において、前記キャビティ板の溝の内面に、水酸基をもつ物質を成膜することを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。

IPC (3件)：

B41J 2/16 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055

FI (2件)：

B41J 3/04 103 H ,  B41J 3/04 103 A