特許
J-GLOBAL ID：200903095819504519
差動光路干渉計及びこの差動光路干渉計を用いたフーリエ変換分光器
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
保立 浩一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-317513
公開番号（公開出願番号）：特開平9-133582
出願日： 1995年11月10日
公開日（公表日）： 1997年05月20日
要約：
【要約】【課題】 掃引中の被測定光束の波面安定度を高くし、大きな掃引長で掃引して波数分解能を高くするとともに掃引速度を高くしてSN比を小さくする。【解決手段】 被測定光束は、半透反射鏡41によって反射光束と透過光束に分割され、それぞれ第一の光学系42及び第二の光学系43を進行し、再び半透過反射鏡41で合成される。第一及び第二の光学系42,43は、それぞれ奇数個の回転平面鏡421,431を有し、光路差発生手段44が、奇数個の回転平面鏡421,431と半透反射鏡41とを一体に所定角度回転させて第一の光学系42の光路と第二の光学系43の光路との間に光路差を発生させる。
請求項（抜粋）：
被測定光束が入射する位置に配置され入射する被測定光束を分割する分割用半透反射鏡と、分割用半透反射鏡に反射した被測定光束が進行する第一の光路に沿って配置された第一の光学系と、分割用半透反射鏡を透過した被測定光束が進行する第二の光路に沿って配置された第二の光学系と、第一第二の各々の光路に沿って進行してきた各々の被測定光束が入射する位置に配置され入射する各々の被測定光束を合成する合成用半透反射鏡とを有し、第一第二の光路に光路差を与えて干渉光強度を変化させるための光路差発生手段を具備した差動光路干渉計において、前記第一の光学系及び第二の光学系は、第一の光路及び第二の光路のそれぞれに沿って配置された奇数個の回転平面鏡又は奇数個の回転可能な平面反射部分を含み、この結果、干渉光を発生させる二つの光束はこの奇数個の回転平面鏡又は奇数個の回転可能な平面反射部分における反射と前記分割用半透反射鏡又は前記合成用半透反射鏡における反射とで偶数回反射するよう構成され、さらに、光路差発生手段は、この偶数回反射する奇数個の回転平面鏡又は奇数個の回転可能な平面反射部分と分割用半透反射鏡又は合成用半透反射鏡とを一体に所定角度回転させて第一の光路と第二の光路との間に光路差を発生させるものであることを特徴とする差動光路干渉計。
引用特許：
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