特許
J-GLOBAL ID：200903095826103023
金属微粒子群の微細構造形成方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
宮本 晴視
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-197212
公開番号（公開出願番号）：特開2004-035978
出願日： 2002年07月05日
公開日（公表日）： 2004年02月05日
要約：
【課題】基体の損傷、フォトマスクの損傷といった不都合を取り除いた、金属微粒子分散液から基体表面への金属微粒子の固定方法の提供。【解決手段】高エネルギーの電磁波および/または高エネルギー密度の電磁波の照射により脱離する分散安定剤で安定化した金属微粒子を、より低いエネルギーの電磁波および/またはより低いエネルギー密度の電磁波の照射により前記金属微粒子表面から脱離する分散剤および/または金属微粒子に対する結合性を有しない化合物を含有する溶液から前記分散安定剤の一部を前記分散剤および/または化合物で置換して調製した金属微粒子のコロイド溶液に、高エネルギーの電磁波および/または高エネルギー密度の電磁波を照射し、ついで前記高エネルギーの電磁波を照射して、基体表面に前記低いエネルギーの電磁波および/またはより低いエネルギー密度の電磁波の照射に対応する所望の微細構造に前記金属微粒子を固定する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
高エネルギーの電磁波および/または高エネルギー密度の電磁波の照射により脱離する分散安定剤で安定化した金属微粒子を、より低いエネルギーの電磁波および/またはより低いエネルギー密度の電磁波の照射により前記金属微粒子表面から脱離する分散剤および/または金属微粒子に対する結合性を有しない化合物を含有する溶液から前記分散安定剤の一部を前記分散剤および/または化合物で置換して調製した金属微粒子のコロイド溶液に、前記高エネルギーの電磁波および/または高エネルギー密度の電磁波を照射することにより金属微粒子表面の前記分散安定剤の一部を脱離させ、かつ前記分散安定剤で安定化した金属微粒子の粒径の2〜100倍程度の凝集を起こさせる程に活性化され光感度を上げた金属微粒子分散液を生成させる前記高エネルギーの電磁波および/または高エネルギー密度の電磁波を照射する工程、前記活性化して光感度を上げた金属微粒子分散液に前記より低いエネルギーの電磁波および/またはより低いエネルギー密度の電磁波を照射して、基体表面に前記低いエネルギーの電磁波および/またはより低いエネルギー密度の電磁波の照射に対応する所望の微細構造に前記金属微粒子を固定する方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C23C26/00 E
, B01J19/12 B
4G075AA13
, 4G075AA22
, 4G075BB08
, 4G075CA36
, 4G075CA51
, 4G075DA01
, 4K044AA12
, 4K044BA06
, 4K044BA08
, 4K044BB10
, 4K044BB14
, 4K044BC14
, 4K044CA21
, 4K044CA41
