特許
J-GLOBAL ID：200903095827726415
電界放出形電子源
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
脇 篤夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-320923
公開番号（公開出願番号）：特開平7-153369
出願日： 1993年11月29日
公開日（公表日）： 1995年06月16日
要約：
【要約】【目的】 カソード配線と各エミッタコーン間との抵抗値がほぼ一定とされると共に、実装密度を向上した電界放出形電子源を提供すること。【構成】 絶縁性の基板1上にストライプ状のカソード配線2を形成し、このカソード配線2内に複数の島状カソード導体7をカソード配線から分離形成する。この上に、抵抗層3,絶縁層4およびゲート電極5を形成する。ゲート電極5と絶縁層4とに開口部を設け、この開口部内にエミッタコーン6を形成することにより、グループ単位内のエミッタコーン6のエミッションを均一化する。
請求項（抜粋）：
カソード配線の領域内に、前記カソード配線から分離されたカソード導体を複数設け、前記カソード配線と前記カソード導体とを抵抗層により電気的に接続し、前記カソード導体上に複数の円錐状のエミッタが直接または前記抵抗層を介して配設されたことを特徴とする電界放出形電子源。
IPC (3件)：
H01J 1/30
, H01J 31/12
, H01J 31/15
