特許

J-GLOBAL ID：200903095830843554

レ-ザ発振装置

発明者： 石橋 誠 ,  藤原 淳史
出願人/特許権者： レーザー濃縮技術研究組合 ,  株式会社東芝
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-278154
公開番号（公開出願番号）：特開平7-131103
出願日： 1993年11月08日
公開日（公表日）： 1995年05月19日
要約：

【要約】【目的】 この発明は種々の原因によって生じる波長のドリフトを補正することができるようにしたレ-ザ発振装置を提供することにある。【構成】 光共振器1のレ-ザ媒質2とグレ-テイング3との間に設けられたエタロン6と、出力ミラ-4を駆動してレ-ザ光の縦モ-ド間隔を変える第1のプッシャ10と、出力ミラ-から出力されるレ-ザ光の出力を検出する出力モニタ9と、出力モニタが検出するレ-ザ光の出力に同期してエタロンの角度を変える第1のピエゾモ-タ15と、出力ミラ-から出力されるレ-ザ光の光軸を検出する光軸モニタ33と、グレ-テイングの角度を変える第2のピエゾモ-タと、出力ミラ-から出力されるレ-ザ光の波長を検出する波長計8と、光軸モニタと波長計からの検出信号にもとづいて第1のプッシャによる出力ミラ-の駆動と第2のピエゾモ-タによるグレ-テイングの駆動とをフィ-ドバック制御する判別装置33とを具備したことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

レ-ザ媒質を挟んで対峙して配置されたグレ-テイングと出力ミラ-とからなる光共振器と、この光共振器の上記レ-ザ媒質とグレ-テイングとの間に設けられたエタロンと、上記出力ミラ-を駆動してこの出力ミラ-から出力されるレ-ザ光の縦モ-ド間隔を変える第1の駆動手段と、上記出力ミラ-から出力されるレ-ザ光の出力を検出する出力モニタと、この出力モニタが検出するレ-ザ光の出力に同期して上記エタロンの上記光共振器の光軸に対する角度を変える第2の駆動手段と、上記出力ミラ-から出力されるレ-ザ光の光軸を検出する光軸モニタと、上記グレ-テイングの上記光軸に対する角度を変える第3の駆動手段と、上記出力ミラ-から出力されるレ-ザ光の波長を検出する波長計と、上記光軸モニタと上記波長計からの検出信号にもとづいて上記第1の駆動手段による出力ミラ-の駆動と上記第3の駆動手段によるグレ-テイングの駆動とをフィ-ドバック制御する制御手段とを具備したことを特徴とするレ-ザ発振装置。

IPC (3件)：

H01S 3/137 ,  H01S 3/1055 ,  H01S 3/213

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平3-262183
  
• 特開平2-110985
  
• 特開平1-181486