特許
J-GLOBAL ID：200903095839813496
物品清浄装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小谷 悦司 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-050857
公開番号（公開出願番号）：特開平5-253550
出願日： 1992年03月09日
公開日（公表日）： 1993年10月05日
要約：
【要約】【目的】 装置内の清浄度を高くすることができるとともに、剥離した塵埃が物品に再付着することを確実に防止することができる物品清浄装置を提供する。【構成】 プリント基板や液晶板等の物品Pを搬送するコンベヤ3と、第1,第2のチャンバー1,2と、物品Pの表面の塵埃を除去する清掃ブラシ7及び高圧ノズル9aと、各チャンバー1,2の上下を塞ぐパンチング板11,12及びパンチング板21,22と、第1,第2のチャンバー1,2に送風する互いに等しい送風能力を有するシロッコファン13,23とを備える。第1のチャンバー1へ供給される空気量が排気される空気量よりも少なくなるとともに、第2のチャンバー2内の気圧が第1のチャンバー1内の気圧よりも高くなる。
請求項（抜粋）：
物品を搬送する搬送手段と、物品の搬送空間を物品の搬送方向の上流側と下流側に分割して成る第1,第2のチャンバーと、上記第1のチャンバー内で物品表面の塵埃を除去する清掃手段と、複数個の孔が穿設され、各チャンバーの上下を塞ぐようにそれぞれ配設された一対の有孔板と、上記第1,第2のチャンバーの上方の有孔板を通して上記第1,第2のチャンバーにそれぞれ送風する第1,第2の送風手段とを備え、上記第1,第2の送風手段は互いに等しい送風能力を有した物品清浄装置において、上記第1のチャンバーの一対の有孔板は、上方の有孔板を通して上記第1のチャンバーへ供給される空気量が下方の有孔板を通して排気される空気量よりも少なくなるように開口率が設定され、上記第2のチャンバーの一対の有孔板は、第2のチャンバー内の気圧が第1のチャンバー内の気圧よりも高くなるように開口率が設定されたことを特徴とする物品清浄装置。
IPC (4件)：
B08B 5/02
, F24F 7/06
, H01L 21/68
, H05K 3/26
