特許
J-GLOBAL ID：200903095851822522
圧電アクチュエータの製造方法、圧電アクチュエータを含む液体吐出ヘッドの製造方法、圧電アクチュエータ、及び、これを含む液体吐出ヘッド
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
梶 良之
, 須原 誠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-307169
公開番号（公開出願番号）：特開2009-126167
出願日： 2007年11月28日
公開日（公表日）： 2009年06月11日
要約：
【課題】電気的検査の実施と製造コスト低減とを共に実現可能とする。【解決手段】圧電アクチュエータを製造するにあたって、先ず、2の圧電セラミック層間に内部共通電極が挟まれ、一方の圧電セラミック層における内部共通電極とは反対側の表面上に個別電極と表面共通電極とが形成され、さらに、当該一方の圧電セラミック層を貫通して内部共通電極に達する貫通孔が形成された、積層体を作製する(S11〜S15)。その後、検査具を貫通孔に挿入し内部電極に接触させることで、積層体の電気的特性を検査する(S16)。検査の結果電気的特性に不具合がないと判断された場合(S16:YES)、個別電極上、表面共通電極上、及び貫通孔内においてCOFから最も離隔した位置のそれぞれに、個別ランド、共通ランド、及び導電体となる導電性ペーストを同一径となるように印刷する(S18)。【選択図】図10
請求項（抜粋）：
圧電セラミック層とこれに積層された振動板との間に第1の電極が挟まれ、前記圧電セラミック層における前記第1の電極とは反対側の表面上に、第2の電極と、前記第2の電極から離隔した第3の電極とが形成され、さらに、前記圧電セラミック層を貫通して前記第1の電極に達する貫通孔が形成された積層体を作製する積層体作製工程と、
前記貫通孔に挿入した検査具を前記第1の電極と接触させて前記積層体の電気的特性を検査する検査工程と、
前記第2の電極上、前記第3の電極上、及び、前記貫通孔内に、配線部材の端子と接続される第1のランド、前記配線部材の別の端子と接続される第2のランド、及び、前記第1の電極と前記第3の電極とを接続する導電体となる導電性ペーストをそれぞれ印刷する印刷工程と、
を備えていることを特徴とする圧電アクチュエータの製造方法。
IPC (3件)：
B41J 2/16
, B41J 2/045
, B41J 2/055
B41J3/04 103H
, B41J3/04 103A
2C057AF93
, 2C057AG47
, 2C057AG89
, 2C057AG90
, 2C057AG94
, 2C057AP02
, 2C057AP14
, 2C057AP82
, 2C057BA04
, 2C057BA14
