特許

J-GLOBAL ID：200903095856065762

ニアフィールド顕微鏡装置

発明者： 梶村 宏
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-328856
公開番号（公開出願番号）：特開平5-164968
出願日： 1991年12月12日
公開日（公表日）： 1993年06月29日
要約：

【要約】【目的】本発明は、光学顕微鏡の分解能を越えた分解能を持つと共に走査時間の短縮化を図るニアフィールド顕微鏡装置を提供することを目的とする。【構成】本発明のニアフィールド顕微鏡装置は、マイクロマシンニング加工によって開口部が複数形成された微小開口アレイ24と、各開口部に対向させて夫々配置された複数の増幅型光電素子からなる光電アレイ25とが一体に形成されたセンサユニット12と、センサユニット12に対向配置される試料14との距離を所定距離に保持する距離制御手段13と、センサユニット12と試料14とを相対的に移動させて試料14を走査する走査手段2,7と、増幅型光電素子から出力される信号を、その走査に同期させて表示する表示手段23と、を具備してなる。

請求項（抜粋）：

シリコン基板上にマイクロマシンニング加工によって微小な開口部を複数形成してなる微小開口アレイと、前記シリコン基板の一方の面に前記各開口部に対向させて夫々配置された複数の増幅型光電素子からなる光電アレイとが一体に形成されたセンサユニットと、前記センサユニットの他方面に対向配置される試料と前記各開口部との間がニアフィールドとなるように、前記試料と前記各開口部とを近接させる距離制御手段と、前記センサユニットと前記試料とを、前記センサユニットと前記試料との対向方向と直交する方向に相対的に移動させて前記試料を走査する走査手段と、前記走査手段により前記試料を走査したとき前記センサユニットの各増幅型光電素子から出力される信号を、その走査に同期させて表示する表示手段と、を具備したことを特徴とするニアフィールド顕微鏡装置。