特許

J-GLOBAL ID：200903095863292049

配向膜の配向処理方法およびその装置

発明者： 中林 聖裕 ,  浅儀 典生 ,  桑原 創 ,  江原 泰蔵
出願人/特許権者： 日新電機株式会社 ,  株式会社イー・エッチ・シー
代理人 (1件)： 山本 惠二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-353580
公開番号（公開出願番号）：特開平8-234207
出願日： 1995年12月28日
公開日（公表日）： 1996年09月13日
要約：

【要約】【課題】 液晶ディスプレイの視野角を広げることができ、しかもパーティクルの発生を減少させることができる配向膜の配向処理方法およびその装置を提供する。【解決手段】 この配向処理方法では、まず、基板上に形成されていて液晶分子を配向させるための配向膜6の表面をラビング材を用いて一定方向Dにラビングする。その後、真空中で同配向膜6に対してイオンビーム14を、先のラビング材によるラビング方向Dとは異なった方向Eから、かつ配向膜表面に対して斜め上方から照射する。

請求項（抜粋）：

基板上に形成されていて液晶分子を配向させるための配向膜の表面をラビング材を用いて一定方向にラビングし、その後真空中で同配向膜に対してイオンビームを、先のラビング材によるラビング方向とは異なった方向から、かつ配向膜表面に対して斜め上方から照射することを特徴とする配向膜の配向処理方法。