特許
J-GLOBAL ID：200903095864251346
円形基板の位置決め装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-323229
公開番号（公開出願番号）：特開平5-160245
出願日： 1991年12月06日
公開日（公表日）： 1993年06月25日
要約：
【要約】【目的】 高精度、高速な円形基板の位置決めと基板周縁部の欠陥検出とを可能とする。【構成】 Δθステージ1上にX、Yステージ10、15、さらにその上にターンテーブル18を設ける。ターンテーブル18の回転中に、ウエハWの周縁部分の回転中心Tcからの変位量の変化を表す情報をアナログセンサ20により検出し、この検出された情報に基づいて、欠陥判定部37は周縁部分の欠陥を検出するとともに、主制御系36は切欠きをX方向に設定するようにターンテーブル18の回転を制御する。主制御系36は切欠きがX方向に設定された後、スポットセンサ24、27、28によるウエハWの周縁部分の3ヵ所での検出情報に基づいてX、Yステージ10、15とΔθステージ1とを制御する。【効果】 直交座標系XYに対するウエハWの位置決め精度を向上させることができ、さらにウエハ周縁部の欠陥検出も同時に行うことができる。
請求項（抜粋）：
所定の直交座標系に対して、所定形状の切欠きを備えた円形基板を位置決めする装置において、前記直交座標系の座標原点をほぼ中心として微小回転可能な第1回転ステージと;該第1回転ステージ上に設けられ、前記直交座標系内で2次元移動可能な直動ステージと;該直動ステージ上に設けられ、前記円形基板を保持して少なくとも1回転以上回転可能な第2回転ステージと;該第2回転ステージの回転中に、前記円形基板の周縁部分の回転中心からの変位量の変化を表す情報を非接触で検出する非接触型の第1の検出器と;該検出された情報に基づいて、前記円形基板の切欠きを前記直交座標系上の所定の方向に設定するように、前記第2回転ステージの回転の停止を制御する第1の位置決め制御手段と;前記円形基板の周縁部分の少なくとも3ヵ所の位置を非接触で検出し得るように、前記直交座標系内の予め決められた少なくとも3ヵ所に検出点を有する非接触型の第2の検出器と;前記第1の位置決め制御手段によって前記切欠きが所定の方向に設定された後、前記第2の検出器の少なくとも3ヵ所の検出点での検出情報に基づいて前記直動ステージと第1回転ステージとを制御する第2の位置決め制御手段とを有し、前記円形基板の中心を前記座標原点に対して常にほぼ一定の関係に位置決めし、かつ前記直交座標系に対する前記円形基板の残留回転誤差をほぼ零にするとともに、前記第1の検出器によって検出された情報に基づいて、前記円形基板の周縁部分の欠陥を検出する検出手段を備えたことを特徴とする円形基板の位置決め装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/30 301 Z
, H01L 21/30 341 L
