特許

J-GLOBAL ID：200903095869792850

光学装置およびこれを有する露光装置

発明者： 三宅 明 ,  渡辺 豊
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 丸島 儀一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-066012
公開番号（公開出願番号）：特開平8-262210
出願日： 1995年03月24日
公開日（公表日）： 1996年10月11日
要約：

【要約】【目的】 反射鏡を用いた光学装置において、反射鏡の傷や塵埃汚れ等の欠陥によって露光むらが発生することを防止する。【構成】 反射鏡を弾性振動させることによって露光面での照度の不均一性の影響を解消する。高い振動数の弾性振動を利用するので振動と露光開始のタイミングとを同期させることなく、ミラーの欠陥に伴う露光量むらを解消できる。

請求項（抜粋）：

電磁エネルギビームを光学素子を介して被照射物に導く光学装置において、前記光学素子に弾性振動を生じせしめる機構を有することを特徴とする光学装置。

IPC (4件)：

G02B 5/10 ,  G02B 7/185 ,  G03F 7/20 503 ,  H01L 21/027

FI (5件)：

G02B 5/10 B ,  G03F 7/20 503 ,  G02B 7/18 701 ,  H01L 21/30 531 A ,  H01L 21/30 531 S

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 結晶モノクロメータ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-046297   出願人：アロカ株式会社
• 特開昭63-172425
  
• 特開平4-254799
  
• 特開平4-172300
  

審査官引用 (4件)

• 結晶モノクロメータ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-046297   出願人：アロカ株式会社
• 特開昭63-172425
  
• 特開平4-254799
  
• 特開平4-172300