特許

J-GLOBAL ID：200903095875809667

露光装置

発明者： 中村 協司 ,  大谷 栄三 ,  吉元 宏充
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 立石 篤司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-205148
公開番号（公開出願番号）：特開2001-035772
出願日： 1999年07月19日
公開日（公表日）： 2001年02月09日
要約：

【要約】【課題】 露光中の照明光学系の振動が、露光本体部に与える影響を軽減して、露光精度の向上を図る。【解決手段】 照明光学系IOPを、露光動作中に可動する可動ブレードを含む第1部分光学系IOP1と、露光動作中に可動ブレード以上で可動する可動部を含まない第2部分光学系IOP2とに分離し、第2部分光学系IOP2を露光本体部を構成する本体コラム14上に設置し、第1部分光学系を露光本体部と分離して設置した。このため、露光動作中に可動ブレードが大きく動き、それに伴って第1部分光学系IOP1に振動が発生し、この振動の残留振動が露光中に残ったとしても、その振動は第2部分光学系及びこれが設置された露光本体部に悪影響を殆ど与えることがなくなる。従って、露光中の照明光学系の振動が、露光本体部に与える影響を軽減することができ、結果的に露光精度の向上を図ることができる。

請求項（抜粋）：

所定のパターンが形成されたマスクをエネルギビームにより照明する照明光学系と、前記マスクから出射された前記エネルギビームにより露光される基板を保持する基板ステージを少なくとも含む露光本体部とを備えた露光装置において、前記照明光学系を、露光動作中に可動する第1の可動部を含む第1部分光学系と、前記露光動作中に前記第1の可動部の可動量以上で可動する可動部を含まない第2部分光学系とに分離し、前記第2部分光学系を前記露光本体部上に設置し、前記第1部分光学系を前記露光本体部と分離して設置したことを特徴とする露光装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (3件)：

H01L 21/30 503 F ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 515 D

Fターム (17件)：

5F046AA22 ,  5F046AA23 ,  5F046BA05 ,  5F046CA03 ,  5F046CA04 ,  5F046CA05 ,  5F046CB05 ,  5F046CB08 ,  5F046CB13 ,  5F046CB20 ,  5F046CB23 ,  5F046CB25 ,  5F046DA01 ,  5F046DA02 ,  5F046DA27 ,  5F046DB01 ,  5F046DC02