特許
J-GLOBAL ID：200903095877467704
荷電ビーム露光装置及び荷電ビーム露光方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
有我 軍一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-037833
公開番号（公開出願番号）：特開平8-236423
出願日： 1995年02月27日
公開日（公表日）： 1996年09月13日
要約：
【要約】【目的】 帯電による荷電ビームの行路の歪みを抑えることができる。【構成】 被露光基板5を載置するカセット6と、カセット6を可動するステージ4とを露光室2内に設け、被露光基板5と対向して配置され、かつ少なくとも被露光基板5側の面に導電性を有する赤外線透過膜7が被覆された赤外線透過窓8若しくは導電性を有する赤外線透過窓8aを露光室2壁に設け、赤外線透過窓8,8aを介して、被露光基板5から放射された赤外線を検出することにより、被露光基板5の温度を1箇所以上測定する放射温度計9と、測定した該温度信号に基づいて、ステージ4及びカセット6の少なくともどちらか一方に配管13を通して循環させる液体又は気体温度を制御する温度制御装置12とを露光室2外部に設けてなる。
請求項（抜粋）：
被露光基板を可動するステージを露光室内に設け、該被露光基板と対向して配置され、かつ少なくとも該被露光基板側の面に導電性を有する赤外線透過膜が被覆された赤外線透過窓若しくは導電性を有する赤外線透過窓を露光室壁に設け、該赤外線透過窓を介して、該被露光基板から放射された赤外線を検出することにより、該被露光基板の温度を測定する放射温度計を設けてなることを特徴とする荷電ビーム露光装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/30 541 L
, G01J 5/00 D
