特許

J-GLOBAL ID：200903095880459348

ワーク電位の測定方法

発明者： 長井 宣夫
出願人/特許権者： 日新電機株式会社
代理人 (1件)： 原 謙三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-206161
公開番号（公開出願番号）：特開平9-054130
出願日： 1995年08月11日
公開日（公表日）： 1997年02月25日
要約：

【要約】【課題】 ウエハ29にイオンビーム59を照射するイオン注入装置において、リアルタイムで、かつ周辺の構成物の影響を受けることなく、正確なウエハ電位を計測し、チャージアップ現象を速やかに検出する。【解決手段】 誘電性材料から成る載置台42内に電極43,44が埋込まれ、これらの電極43,44に吸着用電源46,47から吸着電流が供給されることによってウエハ29を吸着する静電チャック装置41において、図1(a)で示すように、予めサンプル用ウエハ29aを載置して直流電源58から可変電圧Vpsを印加し、そのときのウエハ電位Vwafer に対する電流計51,52による吸着電流Iesc + ,Iesc - の値を求めておき、図1(b)で示すウエハ29への実際のイオンビーム59の照射時には、計測された吸着電流から前記ウエハ電位を求める。

請求項（抜粋）：

誘電性材料から成る載置台内に埋設されている電極に吸着用電源から吸着電圧を供給することによってワークを前記載置台に吸着させる静電チャック装置におけるワーク電位の測定方法であって、帯電用および電位測定用プローブがそれぞれ取付けられ、加工すべきワークと同一のサンプル用ワークを予め前記載置台上に載置して、前記帯電用プローブから可変電圧を印加し、該可変電圧に対応して計測された電位測定用プローブの各電位に対応して吸着電流のデータを記録しておき、前記載置台上に加工すべきワークを載置して、該ワークに荷電粒子を照射しつつ前記吸着電流を計測し、その計測結果を前記記録されているデータに対照してワーク電位を求めることを特徴とするワーク電位の測定方法。

IPC (5件)：

G01R 29/24 ,  C23C 14/54 ,  H01L 21/265 ,  H01L 21/3065 ,  H01L 21/68

FI (5件)：

G01R 29/24 J ,  C23C 14/54 Z ,  H01L 21/68 R ,  H01L 21/265 T ,  H01L 21/302 A