反射板検査装置および反射板検査方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大前要
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-210304
公開番号（公開出願番号）：特開2003-028755
出願日： 2001年07月11日
公開日（公表日）： 2003年01月29日
要約：

【要約】【課題】品質管理に優れ、非接触で効率よく行うことができる反射板の検査方法および検査装置をを提供する。【解決手段】検査しようとする反射板に所定の入射角で光を照射する光源と、この光のうち反射板より互いに異なる反射角で反射した複数の成分をそれぞれ検出する複数の受光手段と、光強度測定手段の測定した光の強度および受光手段の検出した光の強度に基づいて反射板の反射特性の良否を判定する判定手段とを備える。

請求項（抜粋）：

検査しようとする反射板に所定の入射角で光を照射する光源と、前記光のうち前記反射板より互いに異なる反射角で反射した複数の成分をそれぞれ検出する複数の受光手段と、光強度測定手段の測定した光の強度および前記受光手段の検出した光の強度に基づいて前記反射板の反射特性の良否を判定する判定手段とを具備する反射板検査装置。

IPC (5件)：

G01M 11/00 , G01N 21/95 , G02F 1/13 101 , G02F 1/1335 520 , H04N 7/18

FI (5件)：

G01M 11/00 T , G01N 21/95 Z , G02F 1/13 101 , G02F 1/1335 520 , H04N 7/18 B

Fターム (26件)：

2G051AA61 , 2G051AB07 , 2G051AB20 , 2G051BB01 , 2G051CA03 , 2G051CA07 , 2G051CB01 , 2G051CC20 , 2G051EB01 , 2G086EE10 , 2G086EE12 , 2H088FA11 , 2H088FA30 , 2H088HA21 , 2H088MA20 , 2H091FA14Y , 2H091FC30 , 2H091GA02 , 2H091GA13 , 2H091LA30 , 5C054CA04 , 5C054CC05 , 5C054EA05 , 5C054FC04 , 5C054FC15 , 5C054HA05

前のページに戻る